Teicneòlas
Tha epitaxy beam molecular, no MBE, na innleachd ùr airson a bhith a ’fàs filmichean tana àrd-inbhe de chriostalan air fo-stratan criostail. Ann an suidheachaidhean falamh ultra-àrd, leis an stòbha teasachaidh air a uidheamachadh leis a h-uile seòrsa de phàirtean a tha a dhìth agus gineadh smùid, tro thuill a chaidh a chruthachadh às deidh giùlan atamach no giùlan moileciuil sa ghiùlan, in-stealladh dìreach gu teòthachd iomchaidh an t-substrate criostail singilte, a ’cumail smachd air giùlan moileciuil gu an t-substrate a ’sganadh aig an aon àm, faodaidh e na moileciuilean no na dadaman a dhèanamh ann an sreathan co-thaobhadh criostail gus film tana a chruthachadh air“ fàs ”substrate.
Airson obrachadh àbhaisteach uidheamachd MBE, feumar purrachd àrd, cuideam ìosal agus nitrogen fìor-ghlan a ghiùlan gu leantainneach agus gu stàball gu seòmar fuarachaidh an uidheamachd. San fharsaingeachd, tha tanca a tha a ’toirt seachad leaghan nitrogen le cuideam toraidh eadar 0.3MPa agus 0.8MPa.Tha nitrogen leaghaidh aig -196 ℃ furasta a bhalbhachadh a-steach do nitrogen aig àm còmhdhail loidhne-phìoban. Cho luath ‘s a thèid an leaghan nitrogen le co-mheas gas-leaghaidh de mu 1: 700 a ghasachadh san loidhne-phìoban, gabhaidh e a-steach mòran de rùm sruthadh nitrogen leaghte agus lughdaichidh e an sruth àbhaisteach aig deireadh na loidhne-phìoban nitrogen. A bharrachd air an sin, anns an tanca stòraidh nitrogen leaghte, tha coltas ann gu bheil sprùilleach ann nach deach a ghlanadh. Anns an loidhne-phìoban nitrogen leaghaidh, bidh èadhar fliuch a ’leantainn gu gineadh slag deighe. Ma thèid na neo-chunbhalaidhean sin a leigeil a-steach don uidheamachd, nì e milleadh nach gabh a thomhas air an uidheamachd.
Mar sin, tha an leaghan nitrogen anns an tanca stòraidh a-muigh air a ghiùlan chun uidheamachd MBE anns a ’bhùth-obrach gun dust le àrd èifeachdas, seasmhachd agus glan, agus an cuideam ìosal, gun nitrogen, gun neo-chunbhalachd, 24 uair gun bhriseadh, tha an siostam smachd còmhdhail sin toradh teisteanasach.
A ’maidseadh uidheamachd MBE
Bho 2005, tha HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) air a bhith a ’leasachadh agus a’ leasachadh an t-siostam seo agus a ’co-obrachadh le luchd-saothrachaidh uidheamachd MBE eadar-nàiseanta. Tha dàimhean co-obrachail aig luchd-saothrachaidh uidheamachd MBE, a ’gabhail a-steach DCA, REBER, leis a’ chompanaidh againn. Tha luchd-saothrachaidh uidheamachd MBE, a ’gabhail a-steach DCA agus REBER, air co-obrachadh ann an àireamh mhòr de phròiseactan.
Tha Riber SA na phrìomh sholaraiche cruinneil de thoraidhean epitaxy beam molecular (MBE) agus seirbheisean co-cheangailte airson sgrùdadh semiconductor compound agus tagraidhean gnìomhachais. Faodaidh an inneal Riber MBE sreathan tana de stuth a thasgadh air an t-substrate, le smachdan glè àrd. Tha an uidheamachd falamh de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) uidheamaichte le Riber SA Is e Riber 6000 an uidheamachd as motha agus is e Compact 21. an tè as lugha. Tha e ann an deagh staid agus chaidh aithneachadh le luchd-ceannach.
Is e DCA am prìomh MBE ocsaid san t-saoghal. Bho 1993, chaidh leasachadh eagarach a dhèanamh air dòighean oxidation, teasachadh substrate antioxidant agus stòran antioxidant. Air an adhbhar seo, tha mòran de phrìomh deuchainn-lannan air teicneòlas DCA oxide a thaghadh. Tha siostaman MBE semiconductor measgaichte air an cleachdadh air feadh an t-saoghail. Tha an siostam cuairteachaidh nitrogen leaghaidh VJ de Uidheam Cryogenic HL (HL CRYO) agus uidheamachd MBE de iomadh modail de DCA aig a bheil an eòlas maidsidh ann am mòran phròiseactan, leithid am modail P600, R450, SGC800 msaa.
Clàr Coileanaidh
Institiud Fiosaig Teicnigeach Shanghai, Acadamaidh Saidheansan Sìneach |
An 11mh Corporra Teicneòlas Leictreonaic Institiùd Sìona |
Institiud Semiconductors, Acadamaidh Saidheansan Sìneach |
Huawei |
Acadamaidh Alibaba DAMO |
Teicneòlas Powertech Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Ùine puist: Cèitean-26-2021