Naidheachdan - Pròiseact Chip MBE air a chrìochnachadh anns na bliadhnaichean a dh'fhalbh

Teicneòlas

Tha epitaxy beam moileciuil, no MBE, na dhòigh ùr airson filmichean tana àrd-inbhe de chriostalan fhàs air fo-stratan criostail.Ann an suidheachaidhean falamh ultra-àrd, leis an stòbha teasachaidh tha e uidheamaichte leis a h-uile seòrsa de phàirtean a tha a dhìth agus a ’gineadh smùid, tro thuill a chaidh a chruthachadh às deidh a bhith a’ bualadh beam atamach no moileciuil, in-stealladh dìreach gu teòthachd iomchaidh an t-substrate criostail singilte, a ’cumail smachd air giùlan moileciuil gu sganadh an t-substrate aig an aon àm, faodaidh e na moileciuilean no na dadaman a dhèanamh ann an sreathan co-thaobhadh criostail gus film tana a chruthachadh air “fàs” substrate.

Airson obrachadh àbhaisteach uidheamachd MBE, feumar fìor-ghlanachd, cuideam ìosal agus nitrogen lionn ultra-ghlan a ghiùlan gu leantainneach agus gu seasmhach gu seòmar fuarachaidh an uidheim.San fharsaingeachd, tha cuideam toraidh aig tanca a bheir seachad naitridean leaghaidh eadar 0.3MPa agus 0.8MPa.Liquid nitrigin aig -196 ℃ furasta a ghluasad gu naitridean rè còmhdhail loidhne-phìoban.Aon uair ‘s gu bheil an nitrogen leaghaidh le co-mheas gas-liquid de timcheall air 1: 700 air a ghasachadh san loidhne-phìoban, gabhaidh e a-steach mòran de dh’ àite sruthadh nitrigin leaghaidh agus lughdaichidh e an sruth àbhaisteach aig deireadh na loidhne-phìoban nitrogen leaghaidh.A bharrachd air an sin, anns an tanca stòraidh nitrigin leaghaidh, tha coltas ann gum bi sprùilleach ann nach deach a ghlanadh.Anns an loidhne-phìoban nitrogen leaghaidh, bidh èadhar fliuch cuideachd a’ leantainn gu gineadh slag deigh.Ma thèid na neo-chunbhalaidhean sin a leigeil a-steach don uidheamachd, nì e milleadh neo-fhaicsinneach air an uidheamachd.

Mar sin, tha an nitrigin leaghaidh anns an tanca stòraidh a-muigh air a ghiùlan gu uidheamachd MBE anns a ’bhùth-obrach gun duslach le àrd èifeachdas, seasmhachd agus glan, agus an cuideam ìosal, gun nitrogen, gun truailleadh, 24 uair gun bhriseadh, tha siostam smachd còmhdhail mar sin. toradh teisteanasach.

Uidheam MBE co-ionnan

Bho 2005, tha HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) air a bhith ag adhartachadh agus ag adhartachadh an t-siostam seo agus a ’co-obrachadh le luchd-saothrachaidh uidheamachd MBE eadar-nàiseanta.Tha dàimhean co-obrachail aig luchd-saothrachaidh uidheamachd MBE, a’ toirt a-steach DCA, REBER, leis a’ chompanaidh againn.Tha luchd-saothrachaidh uidheamachd MBE, a’ toirt a-steach DCA agus REBER, air co-obrachadh ann an àireamh mhòr de phròiseactan.

Tha Riber SA na phrìomh sholaraiche cruinneil de thoraidhean epitaxy beam moileciuil (MBE) agus seirbheisean co-cheangailte airson rannsachadh semiconductor toinnte agus tagraidhean gnìomhachais.Faodaidh an inneal Riber MBE sreathan tana de stuth a thasgadh air an t-substrate, le smachdan fìor àrd.Tha an uidheamachd falamh de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) air a uidheamachadh le Riber SA Is e an uidheamachd as motha Riber 6000 agus is e an tè as lugha Compact 21. Tha e ann an deagh staid agus air aithneachadh le luchd-ceannach.

Is e DCA am prìomh MBE ogsaid san t-saoghal.Bho 1993, chaidh leasachadh eagarach a dhèanamh air dòighean oxidation, teasachadh substrate antioxidant agus stòran antioxidant.Air an adhbhar seo, tha mòran de phrìomh obair-lannan air teicneòlas DCA oxide a thaghadh.Thathas a’ cleachdadh siostaman MBE semiconductor measgaichte air feadh an t-saoghail.Tha an eòlas maidsidh aig an t-siostam cuairteachaidh nitrigin leaghaidh VJ de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) agus an uidheamachd MBE de ioma-mhodalan de DCA ann am mòran phròiseactan, leithid am modail P600, R450, SGC800 msaa.