Pròiseact Chip MBE a chaidh a chrìochnachadh anns na bliadhnaichean a dh’fhalbh

Teicneòlas

'S e dòigh ùr a th' ann an epitaxis beam moileciuil, no MBE, airson filmichean tana àrd-inbhe de chriostalan fhàs air bun-stuthan criostail. Ann an suidheachaidhean falamh fìor àrd, bidh an stòbha teasachaidh uidheamaichte leis a h-uile seòrsa de phàirtean riatanach agus a' gineadh smùid, tro thuill a chaidh a chruthachadh às deidh beam co-chothromach atamach no beam moileciuil, stealladh dìreach chun teòthachd iomchaidh den t-substrate criostail singilte, a' cumail smachd air sganadh beam moileciuil chun an t-substrate aig an aon àm, faodaidh e na moileciuilean no na dadaman ann an sreathan co-thaobhadh criostail a dhèanamh gus film tana a chruthachadh air an t-substrate.

Airson obrachadh àbhaisteach uidheamachd MBE, feumar naitridean leaghaidh àrd-ghlanachd, cuideam ìosal agus fìor-ghlan a ghiùlan gu leantainneach agus gu seasmhach gu seòmar fuarachaidh an uidheim. San fharsaingeachd, tha cuideam toraidh eadar 0.3MPa agus 0.8MPa aig tanca a bheir seachad naitridean leaghaidh. Tha naitridean leaghaidh aig -196 ℃ air a ghalachadh gu furasta gu naitridean rè còmhdhail loidhne-phìoban. Cho luath ‘s a thèid an naitridean leaghaidh le co-mheas gas-leaghaidh de mu 1:700 a ghasachadh anns a’ phìob-loidhne, gabhaidh e tòrr àite sruthadh naitridean leaghaidh agus lughdaichidh e an t-sruthadh àbhaisteach aig ceann loidhne-phìoban an naitridean leaghaidh. A bharrachd air an sin, anns an tanca stòraidh naitridean leaghaidh, tha e coltach gum bi sprùilleach ann nach deach a ghlanadh. Anns a’ phìob-loidhne naitridean leaghaidh, bidh làthaireachd èadhair fhliuch cuideachd a’ leantainn gu gineadh slag deighe. Ma thèid na neo-chunbhalachdan sin a leigeil a-mach don uidheamachd, nì e milleadh ris nach robh dùil air an uidheamachd.

Mar sin, thèid an naitridean leaghaidh anns an tanca stòraidh a-muigh a ghiùlan chun uidheamachd MBE anns a’ bhùth-obrach gun duslach le èifeachdas, seasmhachd agus glanadh àrd, agus leis a’ chuideam ìosal, gun naitridean, gun neo-chunbhalachdan, gun bhriseadh 24 uair, tha an siostam smachd còmhdhail seo na thoradh teisteanasach.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Uidheam MBE co-ionnan

Bho 2005, tha HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) air a bhith a’ leasachadh agus ag adhartachadh an t-siostaim seo agus ag obair còmhla ri luchd-saothrachaidh uidheamachd MBE eadar-nàiseanta. Tha dàimhean co-obrachail aig luchd-saothrachaidh uidheamachd MBE, nam measg DCA, REBER, leis a’ chompanaidh againn. Tha luchd-saothrachaidh uidheamachd MBE, nam measg DCA agus REBER, air co-obrachadh ann an àireamh mhòr de phròiseactan.

’S e Riber SA prìomh sholaraiche cruinneil de thoraidhean epitaxy beam moileciuil (MBE) agus seirbheisean co-cheangailte riutha airson rannsachadh leth-chonnsachaidh todhar agus tagraidhean gnìomhachais. Faodaidh inneal Riber MBE sreathan glè thana de stuth a thasgadh air an t-substrate, le smachdan glè àrd. Tha uidheamachd falamh HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) uidheamaichte le Riber SA. ’S e Riber 6000 an uidheamachd as motha agus ’s e Compact 21 an tè as lugha. Tha e ann an deagh staid agus tha luchd-ceannach air aithneachadh.

’S e DCA am prìomh MBE ocsaid san t-saoghal. Bho 1993, chaidh leasachadh siostamach a dhèanamh air dòighean ocsaididh, teasachadh fo-strat antioxidant agus stòran antioxidant. Air an adhbhar seo, tha mòran de phrìomh obair-lannan air teicneòlas ocsaididh DCA a thaghadh. Tha siostaman MBE leth-chonnsachaidh co-dhèanta gan cleachdadh air feadh an t-saoghail. Tha an siostam cuairteachaidh naitridean leaghaidh VJ aig HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) agus uidheamachd MBE iomadh modail de DCA air an aon eòlas fhaighinn ann am mòran phròiseactan, leithid am modail P600, R450, SGC800 msaa.

tcm (2)

Clàr Coileanaidh

Institiùd Fiosaigs Teicnigeach Shanghai, Acadamaidh Saidheansan Shìona
An 11mh Institiud de Chorporra Teicneòlais Leictreonaic Shìona
Institiud nan Leth-stiùirichean, Acadamaidh Saidheansan Shìona
Huawei
Acadamaidh Alibaba DAMO
Teicneòlas Powertech Inc.
Delta Electronics Inc.
Fotonics Everbright Suzhou

Àm puist: 26 Cèitean 2021

Fàg do theachdaireachd